Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。

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更新時(shí)間：2026-01-09

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)品系列

氣體制冷機(jī)-PTLQ系列直冷型低溫制冷機(jī)-PTZL系列 chiller高精度冷熱循環(huán)器-PTS系列 chiller高精度換熱溫控單元-PHE系列精密冷水機(jī)-TLS系列小型高低溫動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)-SMART系列高低溫動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)-PTHC系列氣體冷凝回收機(jī)組-SCR&LCR系列

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產(chǎn)品介紹

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

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